Vakuum komponentləri

İstilik müalicəsi əsasən oksidləşmə, diffuziya və yumşalma proseslərini əhatə edir.Oksidləşmə, silikon vaflilərin yüksək temperaturlu sobaya yerləşdirildiyi və vaflinin səthində silisium əmələ gətirmək üçün onlarla reaksiyaya girmək üçün oksigenin əlavə edildiyi bir əlavə prosesdir.Diffuziya molekulyar istilik hərəkəti ilə maddələrin yüksək konsentrasiya sahəsindən aşağı konsentrasiya bölgəsinə köçürülməsidir və diffuziya prosesi silikon substratda spesifik dopinq maddələrini dopinq etmək üçün istifadə edilə bilər və bununla da yarımkeçiricilərin keçiriciliyini dəyişdirir.